半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度准确控制,产品有流体氟化液控温(低-100度)、气体冷热快速温变、快速温变卡盘、低温气体制冷机(-120度)、直冷型制冷机组(-150度)等。公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),实现系统快速响应、较高的控制精度。
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制冷加热控温系统 制冷加热控温控流量系统-低温 TCU控温单元 WTD系列-微通道管式反应器专用 DCS控温大系统