面板Chiller
应用:
该系列产品目前主要应用于面板制程中的薄膜沉积和刻蚀、OLED真空镀膜、Micro-LED热量转移、激光加工等等环节。
产品优势:
稳定运行:精确匹配行业需求,集成多种安全防护功能,保障面板工艺制程稳定运行。
温度范围广、控温精准:-20℃~120℃,控温精度最高达±0.01℃;
高效节能:采用全变频技术,结合压缩机余热回收,降低能耗;
氟化液损耗量少:闭式循环系统设计,减少氟化液高温挥发。
设备体积小:多通道整合,更高效的空间利用;
该系列产品目前主要应用于面板制程中的薄膜沉积和刻蚀、OLED真空镀膜、Micro-LED热量转移、激光加工等等环节。
稳定运行:精确匹配行业需求,集成多种安全防护功能,保障面板工艺制程稳定运行。
温度范围广、控温精准:-20℃~120℃,控温精度最高达±0.01℃;
高效节能:采用全变频技术,结合压缩机余热回收,降低能耗;
氟化液损耗量少:闭式循环系统设计,减少氟化液高温挥发。
设备体积小:多通道整合,更高效的空间利用;