常温高精度chiller

应用：

原理：CHILLER 高精度系列设备集成蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，进行制冷加热，可实现高精度控温，适用于光刻机、涂胶显影设备等领域制冷加热控温。

核心技术与优势：

1.高精度控温：采用PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.005℃，适用于高精密制造场景。

2.多场景适配：支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介质使用。