帕尔贴Chiller-无锡冠亚恒温制冷

产品介绍

冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围从-20到90℃，专为半导体行业度身定制；
基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制；
对于静电卡盘(ESC)动态的温度控制，使得其能够应用于所有类型的刻蚀工艺；
快速和精确的温度控制，能够满足任何严苛的工艺要求；

产品介绍

型号		TEC-1200W	TEC-2500W	TEC-4500W
温度范围		-20℃~90℃
控温精度		±0.1℃
制冷能力	20℃	1200W	2450W	4500W
	10℃	900W	1925W	3500W
	0℃	600W	1400W	2600W
	-10℃	350W	875W	1600W
	-20℃	80W	350W	700W
制热能力		＞3000W	＞6000W	＞12000W
泵类型		直流磁力泵
压力（bar）		≤4
流量		15L/min at 2bar
流体		Galden HT135
冷却水温度		DI＜20℃
冷却水流量		≥12L/min	≥20L/min	≥32L/min
CDA开启温度		＜30℃
CDA压力		0.5-0.8bar
CDA流量		2-3m³/h
CDA露点温度		≤30℃
电源电压		AC208V,三相电压

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