LTS-40℃~80℃ 2021/10/25 未分类 556 产品参数 流量:7~25L/min~12~45L/min 控温精度:±0.1℃ -40℃~-10℃ 内循环液容积:4L-10L 膨胀罐容积 :10L-20L 温度范围 : -40℃~80℃
产品介绍 广泛运用在半导体制程中对反应腔室控温、热沉板控温及需要传热介质不可燃流体控温场所。 1、介质循环系统保压测试7bar。 2、采用高品质磁力泵,没有机械轴封。 3、优化温度采样及响应速度,专门设计控制算法,能快速响应到控温稳定。 4、增强循环泵能力设计,满足系统高扬程需求。 5、持续高温降温技术,满足在热沉板加载热量,需要冷热恒温控制时稳定运行。 6、针对氟化液易挥发特点,加强了接头设计、系统密封设计,确保介质使用寿命 上一篇: ZLJ-1015W 下一篇: LTS-60℃~80℃