光刻机用冷水机的出厂调试注意事项

光刻机用冷水机是工业冷水机的一种，而每一台设备在出厂前都需要经过详细的检测过程。那么在出厂前需要调试哪些内容呢。

1、光刻机用冷水机的电流里调试

光刻机用冷水机在运行的时候可以检测光刻机用冷水机循环泵中的电流里，厂家也可以由此判断电流里的变化，是过大还是过小，方便观察水系统的状况。

2、静水压调试

光刻机用冷水机的出水里、进水管压力值同样是非常重要的，厂家和客户可以通过出水里的多少来判断光刻机用冷水机的运行是否正常，可以判断出来是哪—段软管压力值稍大,方便修整；

3、铜管深吸气温度调试

运行光刻机用冷水机大概半个小时候，如果压缩机的深吸气温度少于0度的时候，说明了换热器中的出水里没有达到固定值。容易造成挥发力下挫。

3、光刻机用冷水机冷量过小时，会使蒸发器供液不足，产生过大热度，对系统性能会造成不利的影响。当光刻机用冷水机冷量过大时，会引起震荡，间歇性的使蒸发器供液过量，导致压缩机的吸气压力出现剧烈波动，甚至有液态制冷剂进入压缩机，引起液击(湿冲程)现象。

4、制冷系统的稳定性与蒸发器出口端制冷剂过热度有关，因此及时准确的排除热力膨胀阀的故障及正确的选择与系统匹配的热力膨胀阀是很重要。