Email: market@cnzlj.cn TEL: 13912479193
关于我们 联系方式
    FLTZ单通道系列Chiller

    FLTZ单通道系列Chiller

    FLTZ变频系列 821

    产品介绍

    原理：Chiller单通道变频设备集成单级蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，进行制冷加热，并且同时实现精准控温功能，为用户提供相温度的冷却介质，适用于刻蚀、光刻机、涂胶显影设备等设备领域制冷加热控温。

    核心技术与优势：
    1.高效节能：设备可通过内置变频器根据用户冷热负荷自动调节泵及压缩机频率，保证机组运行状态稳定适配末端负载情况，避免压缩机与电加热满负荷对抗，达到节能效果。
    2.精准控温：采用PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.1℃，适用于精密制造场景。
    3.多场景适配：支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介质使用（采用去离子水可满足微电子领域用户冷媒介质低导电率需求)。

     

    产品介绍

    FLTZ单通道系列 +5℃~+40℃

    型号 FLTZ-001
    FLTZ-001W    		 FLTZ-002
    FLTZ-002W    		 FLTZ-003
    FLTZ-003W    		 FLTZ-004
    FLTZ-004W    		 FLTZ-006
    FLTZ-006W    		 FLTZ-008
    FLTZ-008W    		 FLTZ-010
    FLTZ-010W    		 FLTZ-015
    FLTZ-015W
    温度范围 5℃～40℃(可扩展到90℃)
    控制模式 循环液出口温度控制
    工件负载温度控制（选配）
    出口控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
    工艺工程温度控制 可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
    制冷量@20℃ 2.5kW 6kW 9kW 10kW 15kW 20kW 25kW 38kW
    加热能力 0.5kW 1kW 1.5kW 2kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW
    介质类型 氟化液、乙二醇水溶液或DI水等
    制冷剂类型 R404A、R410A或R448A
    介质流量压力 15LPM@3bar 15LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@5bar 30LPM@5bar 30LPM@5bar
    介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
    冷却水 0.6m³/h@23℃ 1.1m³/h@23℃ 1.6m³/h@23℃ 2.2m³/h@23℃ 3.3m³/h@23℃ 4.4m³/h@23℃ 5.5m³/h@23℃ 8m³/h@23℃
    冷却水接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 1/4
    膨胀罐容积 10L 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
    流量控制 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM
    流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM
    操作面板 7寸彩色触摸屏
    安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
    通讯类型 支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等。
    安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
    30-70%(No condensation)
    电源 220 VAC ± 10%，单相(可定制)/220 VAC ± 10%，三相(可定制) 380 VAC ± 10%，三相(可定制)/220 VAC ± 10%，三相(可定制)
    总用电功率（max） 2.5kW 4.5kW 6kW 7kW 11kW 15kW 18.5kW 25kW
    外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
    水冷外形尺寸cm 40*90*100 48*100*115 48*100*115 50*108*130 50*108*140 80*100*165 90*110*165 100*120*165
    非标定制 带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

     

    FLTZ单通道系列 -25℃~+90℃

    型号 FLTZ-202
    FLTZ-202W    		 FLTZ-203
    FLTZ-203W    		 FLTZ-204
    FLTZ-204W    		 FLTZ-206
    FLTZ-206W    		 FLTZ-208
    FLTZ-208W    		 FLTZ-210
    FLTZ-210W    		 FLTZ-215
    FLTZ-215W
    温度范围 -25℃～90℃
    控制模式 循环液出口温度控制
    工件负载温度控制（选配）
    出口控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
    工艺工程温度控制 可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
    制冷量@-15℃ 1kW 2kW 2.5kW 4kW 6kW 8kW 12kW
    制冷量@-20℃ 0.8kW 1.5kW 2kW 3.5kW 5kW 6.5kW 10kW
    加热能力 1.5kW 1.5kW 2kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW
    介质类型 氟化液、乙二醇水溶液
    制冷剂类型 R404A
    介质流量压力 15LPM@3bar 15LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@5bar 30LPM@5bar
    介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4
    冷却水 1.1m³/h@23℃ 1.6m³/h@23℃ 2.2m³/h@23℃ 3.3m³/h@23℃ 4.4m³/h@23℃ 5.5m³/h@23℃ 8m³/h@23℃
    冷却水接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 1/4
    膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
    流量控制 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM
    流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM
    操作面板 7寸彩色触摸屏
    安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
    通讯类型 支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
    安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
    30-70%(No condensation)
    电源 380 VAC ± 10%，三相/220 VAC ± 10%，三相(可定制)
    总用电功率(max) 4.5kW 6kW 7kW 11kW 15kW 18.5kW 25kW
    外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
    水冷外形尺寸cm 48*100*115 48*100*115 50*108*130 50*108*140 80*100*165 90*110*165 100*120*175
    非标定制 带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

     

    FLTZ单通道系列 -40℃~+90℃

    型号 FLTZ-402
    FLTZ-402W    		 FLTZ-403
    FLTZ-403W    		 FLTZ-404
    FLTZ-404W    		 FLTZ-406
    FLTZ-406W    		 FLTZ-408
    FLTZ-408W    		 FLTZ-410
    FLTZ-410W    		 FLTZ-415
    FLTZ-415W
    温度范围 -40℃～90℃
    控制模式 循环液出口温度控制
    工件负载温度控制（选配）
    出口控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
    工艺工程温度控制 可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
    制冷量@-10℃ 1.5kW 3kW 3.2kW 5kW 7kW 9kW 13kW
    制冷量@-30℃ 0.6kW 1kW 1.3kW 2kW 2.8kW 4kW 5.5kW
    加热能力 1kW 1.5kW 2kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW
    介质类型 氟化液、乙二醇水溶液
    制冷剂类型 R404A
    介质流量压力 15LPM@3bar 15LPM@3bar 25LPM@3bar 25LPM@3bar 25LPM@3bar 30LPM@5bar 30LPM@5bar
    介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4
    冷却水 1.1m³/h@23℃ 1.6m³/h@23℃ 2.2m³/h@23℃ 3.3m³/h@23℃ 4.4m³/h@23℃ 5.5m³/h@23℃ 8m³/h@23℃
    冷却水接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 1/4
    膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
    流量控制 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM
    流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM
    操作面板 7寸彩色触摸屏
    安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
    通讯类型 支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等。
    安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
    30-70%(No condensation)
    电源 380 VAC ± 10%，三相/220 VAC ± 10%，三相(可定制)
    总用电功率（max） 4.5kW 6kW 7kW 11kW 15kW 18.5kW 25kW
    外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
    水冷外形尺寸cm 48*100*115 50*108*140 50*108*140 50*108*150 80*100*165 90*110*165 100*120*175
    非标定制 带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

     

    FLTZ单通道系列 -40℃~+90℃

    型号 FLTZ-402
    FLTZ-402W    		 FLTZ-403
    FLTZ-403W    		 FLTZ-404
    FLTZ-404W    		 FLTZ-406
    FLTZ-406W    		 FLTZ-408
    FLTZ-408W    		 FLTZ-410
    FLTZ-410W    		 FLTZ-415
    FLTZ-415W
    温度范围 -40℃～90℃
    控制模式 循环液出口温度控制
    工件负载温度控制（选配）
    出口控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
    工艺工程温度控制 可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
    制冷量@-10℃ 1.5kW 3kW 3.2kW 5kW 7kW 9kW 13kW
    制冷量@-30℃ 0.6kW 1kW 1.3kW 2kW 2.8kW 4kW 5.5kW
    加热能力 1kW 1.5kW 2kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW
    介质类型 氟化液、乙二醇水溶液
    制冷剂类型 R404A
    介质流量压力 15LPM@3bar 15LPM@3bar 25LPM@3bar 25LPM@3bar 25LPM@3bar 30LPM@5bar 30LPM@5bar
    介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4
    冷却水 1.1m³/h@23℃ 1.6m³/h@23℃ 2.2m³/h@23℃ 3.3m³/h@23℃ 4.4m³/h@23℃ 5.5m³/h@23℃ 8m³/h@23℃
    冷却水接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 1/4
    膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
    流量控制 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM
    流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM
    操作面板 7寸彩色触摸屏
    安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
    通讯类型 支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等。
    安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
    30-70%(No condensation)
    电源 380 VAC ± 10%，三相/220 VAC ± 10%，三相(可定制)
    总用电功率（max） 4.5kW 6kW 7kW 11kW 15kW 18.5kW 25kW
    外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
    水冷外形尺寸cm 48*100*115 50*108*140 50*108*140 50*108*150 80*100*165 90*110*165 100*120*175
    非标定制 带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

     

    FLTZ单通道系列 -80℃~+50℃

    型号 FLTZ-803
    FLTZ-803W    		 FLTZ-805
    FLTZ-805W    		 FLTZ-806
    FLTZ-806W    		 FLTZ-808W FLTZ-8010W FLTZ-8015W FLTZ-8025W
    温度范围 -80℃～50℃(可扩展到100℃)
    控制模式 循环液出口温度控制
    工件负载温度控制（选配）
    出口控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
    工艺工程温度控制 可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
    制冷量@25℃ 3kW 4.5kW 5kW 6.5kW 9kW 14kW 25kW
    制冷量@-55℃ 1kW 2.5kW 2.8kW 3.2kW 4.8kW 7.5kW 10.2kW
    制冷量@-70℃ 0.6kW 1.2kW 1.5kW 2kW 2.8kW 5.5kW 8kW
    加热能力 1.5kW 2.5kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW 11kW
    制冷剂类型 R404A/R508B
    介质类型 氟化液
    介质流量压力 15LPM@3bar 20LPM@3bar 25LPM@3bar 35LPM@5bar 35LPM@5bar 35LPM@5bar 35LPM@5bar
    介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
    冷却水 2m³/h@23℃ 3m³/h@23℃ 3.6m³/h@23℃ 4.8m³/h@23℃ 7m³/h@23℃ 10m³/h@23℃ 15m³/h@23℃
    冷却水接口 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1 1/4 Rc2
    膨胀罐容积 15L 15L 15L 30L 30L 40L 40L
    流量控制 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~30LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM
    流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM
    操作面板 7寸彩色触摸屏 10寸彩色触摸屏
    安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
    通讯类型 支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
    安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
    30-70%(No condensation)
    电源 380 VAC ± 10%，三相(可定制)
    总用电功率（max） 8.5kW 12.5kW 16kW 22kW 27.5kW 38kW 60kW
    外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
    水冷外形尺寸cm 65*90*165 70*95*175 70*95*175 80*120*185 80*120*185 100*130*185 120*160*195
    非标定制 带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

     

    FLTZ单通道系列 -100℃~+90℃

    型号 FLTZ-1002W FLTZ-1004W FLTZ-1006W
    温度范围 -100℃～90℃（(可扩展到100℃)）
    控制模式 循环液出口温度控制
    工件负载温度控制（选配）
    出口控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
    工艺工程温度控制 可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
    制冷量@-90℃ 1.5kW 3kW 6kW
    加热能力 3.5kW 5.5kW 15kW
    介质类型 氟化液
    制冷剂类型 混合冷媒
    介质流量压力 30LPM@6bar 30LPM@6bar 30LPM@6bar
    介质接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
    冷却水 6.6m³/h 10m³/h 18m³/h
    冷却水接口 Rc1 Rc1 1/2 Rc2
    膨胀罐容积 30L 30L 40L
    流量控制 20LPM~40LPM 20LPM~40LPM 20LPM~40LPM
    流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM
    操作面板 10寸彩色触摸屏
    安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
    通讯类型 支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等。
    安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
    30-70%(No condensation)
    电源 380 VAC ± 10%，三相(可定制)
    总用电功率(max) 20.5kW 27.5kW 55kW
    外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
    水冷外形尺寸cm 80*120*185 100*150*185 120*160*195
    非标定制 带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

    1.额定测试条件：⼲球温度：20℃；湿球温度：16℃。
    2.此表数据仅供选型参考，如样册有更新恕不另行通知，请以机组铭牌参数为主。
    3.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系。
    4.水冷设备需要闭式冷却塔或冷水机供水，如采用开式冷却塔，必须增加过滤器。供水压力1.5bar~4bar

     

    相关推荐
      展开更多
      X
      免费获取解决方案

      loading...