无锡冠亚恒温制冷
冠亚制冷代表国际先进的液体温度控制技术，积极探索和研究元件测试系统，主要用于医药化工、新能源、半导体、航空航天测试中的温度测试模拟，具有宽的温度方向和高温升降，温度范围：-80°C~+90°C，控温精度高达：±0.05℃，适用于各种测试要求。
产品有流体氟化液控温（最低-100度)、支持多通道连续控温。所有设备出厂前经过氨检测，安规检测，确保系统安全可靠性。40℃以内加热方式采用压缩机热气加热，Chiller循环系统采用全密闭设计、采用磁力驱动泵，拥有高效的生产稳定性和可重复性结果，满足复杂控温需求，支持非标定制。
单通道系列chiller
半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，控温范围：-45℃～+90℃；控温精度：±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。
chiller 的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。
FLTZ 5℃~+90℃
| 型号 | FLTZ-002 FLTZ-002W |
FLTZ-003 FLTZ-003W |
FLTZ-004 FLTZ-004W |
FLTZ-006 FLTZ-006W |
FLTZ-008 FLTZ-008W |
FLTZ-010 FLTZ-010W |
FLTZ-015 FLTZ-015W |
| 温度范围 | 5℃～+90℃ | ||||||
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | ||||||
| 制冷量AT10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
FLTZ -25℃~+90℃
| 型号 | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| 温度范围 | -25℃～+90℃ | ||||||
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | ||||||
| 制冷量AT-15℃ | 2kW | 3kW | 3.8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
FLTZ -45℃~+90℃
| 型号 | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| 温度范围 | -45℃～+90℃ | ||||||
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | ||||||
| 制冷量AT-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1.8kW | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 8kW |
所有设备额定测试条件：⼲球温度：20℃；湿球温度：16℃。进⽔温度：20℃；出⽔温度：25℃。
FLTZ变频系列 低温复叠制冷系统
半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，控温范围：-100℃～+90℃；控温精度：±0.05℃。低温采用复叠制冷系统，制冷速度快，温度低；公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。
FLTZ -80℃~+90℃
| 型号 | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| 温度范围 | -80℃～+90℃ | ||||
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | ||||
| 制冷量AT-70℃ | 0.6kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW |
FLTZ -100℃~+90℃
| 型号 | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| 温度范围 | -100℃～+90℃ | |
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | |
| 制冷量AT-90℃ | 1.5kW | 3kW |
所有设备额定测试条件：⼲球温度：20℃；湿球温度：16℃。进⽔温度：20℃；出⽔温度：25℃。
产品采用无压缩机制冷系统，实现控温范围：5℃～+90℃；控温精度：±0.05℃。
chiller 的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。
ETCU +5℃~+90℃
| 型号 | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| 温度范围 | 冷却水温度5℃～+90℃ | ||||||
| 控温精度 | ±0.05℃（出口温度稳态） | ||||||
| 冷却水温度 | 7~30℃采用西门子/霍尼韦尔调节阀控制冷却水流量 | ||||||
| 冷却能力 | 5kW | 15kW | 30kW | 50kW | 100kW | 200kW | 300kW |
| 测试条件：最大循环量时，控温温度与冷却水温度温差15℃ | |||||||
所有设备额定测试条件：⼲球温度：20℃；湿球温度：16℃。进⽔温度：20℃；出⽔温度：25℃。
双通道系列chiller
FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。
每个通道具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤。
| 型号 | FLTZ-203W-2T | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 温度范围 | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） |
| 制冷量 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| 冷却水流量 | 20L/min | 20L/min |
| 型号 | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 温度范围 | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） |
| 制冷量 | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ | 13kW@+10℃ |
| 冷却水流量 | 40L/min | 20L/min |
| 型号 | FLTZ-203W/2T双系统 | FLTZ-305W/2T双系统 | FLTZ-406W/2T双系统 | |||
| 温度范围 | -20℃～+90℃ | -30℃～+90℃ | -45℃～+90℃ | |||
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | |||||
| 流量压力 | 15~45L/min , 6 bar max | |||||
| 制冷量 | 3kW@-15℃ | 3kW@-15℃ | 5kW@-15℃ | 5kW@-15℃ | 2.5kW@-35℃ | 2.5kW@-35℃ |
| 冷却水流量 | 50L/min@20℃ | 60L/min@20℃ | 50L/min@20℃ | |||
所有设备额定测试条件：⼲球温度：20℃；湿球温度：16℃。进⽔温度：20℃；出⽔温度：25℃。
三通道系列chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，系统支持三个通道独立控温，每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。
公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度，加载情况下控温精度可达±0.1C，可在-20℃~+100℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性。
| 型号 | FLTZ-203W/ETCU-008W/FLTZ-203W | ||
| 管道 | 通道1 | 通道2 | 通道3 |
| 温度范围 | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） |
| 制冷量 | 4kW@-10℃/21kW@20℃ | 6kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| 冷却水流量 | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| 型号 | FLTZ-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| 管道 | 通道1 | 通道2 | 通道3 |
| 温度范围 | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | -30℃～+40℃ |
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） |
| 制冷量 | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| 冷却水流量 | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
双通道高温chiller
本设备的研发⽬的是开发⼀种专⽤高温控温的Chiller，用来满足半导体⾼温测试需求。
创新点：介质温度最高可达250℃；以特殊的⼯艺方式，保证系统高温⼯况下的控温精度。
| 型号 | FLTZH-5W/2T | ||
| 介质温度范围 | 40℃～+250℃ | ||
| 温控点控制模式 | 本体出液口温控控制模式 本体回液口温度控制模式 CHUCK入口温度控制模式（通信） CHUCK回口温度控制模式（通信） CHUCK本体温度控制模式（通信） |
||
| 外接入温度反馈 | 通过通信 | ||
| 介质出口温控精度 | ±0.1℃ | ||
| CHUCK温控精度 | ±0.5℃ | ||
| 加热功率 | 5.5kW | 5.5kW | |
| 冷却能力 kW AT | 250 ℃ | 5.5kW | 5.5kW |
| 150 ℃ | 5kW | 5kW | |
| 100 ℃ | 4kW | 4kW | |
| 50 ℃ | 2kW | 2kW | |
| 流量/压力 | 8L/min 4bar | 8L/min 4bar | |
帕尔贴chiller
冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围从-20到90℃，专为半导体行业度身定制；
基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制；
对于静电卡盘(ESC)动态的温度控制，使得其能够应用于所有类型的刻蚀工艺；
快速和精确的温度控制，能够满足任何严苛的工艺要求；
| 型号 | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| 温度范围 | -20℃~90℃ | |||
| 控温精度 | ±0.1℃ | |||
| 制冷能力 | 20℃ | 1200W | 2450W | 4500W |
| 10℃ | 900W | 1925W | 3500W | |
| 0℃ | 600W | 1400W | 2600W | |
| -10℃ | 350W | 875W | 1600W | |
| -20℃ | 80W | 350W | 700W | |
| 制热能力 | ＞3000W | ＞6000W | ＞12000W | |
负压型控温机组chiller
负压型控温系统通过负压环境下的流体循环实现精准温度控制，原理：通过负压发⽣器驱动导热介质（⽔/油）循环，避免泄漏风险，适用于各种类型板卡冷却。
| 设备名称 | 负压循环温控设备 | |
| 设备型号 | ZLFQ-80 | |
| 额定换热量 | 80kW | |
| 一次侧 （介质侧） |
工作介质 | 纯水、氟化液、乙二醇水溶液等 |
| 额定流量 | 300L/MIN | |
| 储液容积 | 120L | |
| 供回液温度 | 25/35℃ | |
| 温控精度 | ±0.3℃ | |
| 真空泵抽气量 | 130m³/h | |
| 负压压头 | 70KPA | |
| 内循环泵配置 | 1+1冗余 | |
| 介口尺寸 | ZG1-1/4 | |
| 二次侧 （冷却侧） |
冷却介质 | PCW |
| 冷却流量 | 4m³/h | |
| 过滤精度 | 50um | |
| 介口尺寸 | ZG1 | |
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