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LTS-20℃~80℃

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未分类 578

产品参数

  • 流量:7~25L/min~12~45L/min
  • 控温精度:±0.1℃ at -20℃~0℃
  • 内循环液容积:4L-10L
  • 膨胀罐容积 :10L-20L
  • 温度范围 :-20℃~80℃

 

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广泛运用在半导体制程中对反应腔室控温、热沉板控温及需要传热介质不可燃流体控温场所。