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如何确保半导体反应腔室控温系统的稳定运行

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半导体反应腔室控温系统是既可以加热又可以冷却的集成设备,采用机械原理快速升高和降低温度。它不仅使温度迅速升高,而且具有较大的加热和冷却能力,被广泛应用于生物,化学工业,石材,科学研究,医学等领域,为各个行业的快速发展提供了保证。

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1、半导体反应腔室控温系统的整体设备为全封闭系统,设备不会因加热而增加压力,将根据温度变化调节传热介质,使整个设备运行平稳。但是,某些意外故障将导致温度缓慢变化,这种情况持续一段时间,将导致设备损坏,甚至直接损坏核心组件。

2、当遇到降温慢的问题时,可以戴手套触摸主机压缩机的排气口,看看排气管的温度是否不高,然后再触摸吸气管。查看吸水管是否结霜,如果满足了这两点,则设备缺少制冷剂,请参阅设备随附的操作手册以添加制冷剂,确保选择合格的制冷剂。

3、除了制冷剂引起的非冷却问题外,设备制冷系统,传感器系统,控制系统,一个或多个系统也可能存在问题。您可以先关闭设备,然后启动设备以查看是否可以解决问题。如果不是,请依次检查每个系统。非人员请勿打开设备,以免造成二次损坏。

4、确认设备的相关阀门状态是否满足启动要求,并打开电源。开关以使电源控制指示灯点亮。启动冷却水泵,冷却塔风扇和制冷剂水泵,您应该能够看到三个设备的操作指示灯亮起。

5、检测半导体反应腔室控温系统的润滑油温度,油泵开始运行后,将能量调节控制阀置于减荷位置,并确认滑阀处于零位置以调节油压控制阀。

6、设备启动并投入运行后,为了以确保设备正在运行,另需查验制冷剂水泵,冷却水泵,冷却塔风扇在运行过程中的声音和振动,水泵的出口压力,水温等指标是否在正常工作参数范围内。

7、压缩机运行过程中,电机的工作电流是否在规定范围内,如果电流太大,则应进行调整以减少负载运行,以防止电动机因过大的运行电流而烧坏,以及在运行期间压缩机的声音和振动是否正常。

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