FLTZ变频多通道系列Chiller

2025/07/23 Chiller高精度冷热循环器 418

产品介绍

FLTZ系列变频多通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。

每个通道具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤。

加载情况下控温精度可达士0.1℃，可在-45℃~+90℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性。

双通道系列（所有型号均支持双通道、三通道、四通道，各通道功率不同）

型号	FLTZ-D-202W		FLTZ-D-203W		FLTZ-D-B003B203W
通道系数	CH1	CH2	CH1	CH2	CH1	CH2
介质温度范围	-20~＋90℃	-20~＋90℃	-20~＋90℃	-20~＋90℃	-20~＋90℃	-20~＋90℃
控制系统	PLC控制器		PLC控制器		PLC控制器
控制模式	本体出液口温控控制模式
	负载温度控制模式（通信）
出口温度控制精度	±0.1℃
冷却能力	1kW@-20℃	1kW@-20℃	2.5kW@-15℃	2.5kW@-15℃	4kW@-15℃	20kW@冷却水温度+10℃
	4kW@10℃	4kW@10℃	6kW@10℃	6kW@10℃	10kW@10℃
加热能力	1.6kW	1.6kW	5.5kW	5.5kW	2kW	5.5kW
介质类型、电阻率	DI WATER@10~18MΩ·cm		氟化液		氟化液
介质流量压力	20LPM@5bar	20LPM@5bar	20LPM@3bar	20LPM@3bar	20LPM@5bar	20LPM@5bar
介质接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
冷却水	20℃@2.5m³/h@2~4bar		20℃@3.5m³/h@2~4bar		20℃@2.7m³/h@2~4bar	20℃@3.5m³/h@2~4bar
冷却水接口	Rc3/4		Rc3/4		Rc3/4	Rc3/4
通道温度控制	PID控制调节，每路温度独立控制
每组流量控制	15~20LPM变频调节功能
流量显示精度	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM
水箱容积	15L	15L	15L	15L	15L	15L
操作面板	7寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置	LOTO
漏液检测装置	设备内外部LEAK SENSON
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	220 VAC ± 10%，三相(可定制)		380 VAC ± 10%，三相(可定制)		220 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率	11kW(49A)		18kW（48A)		14.5kW（55A)
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035		冷轧板喷塑RAL7035		冷轧板喷塑RAL7035
外形尺寸cm	6085140		75110170		4690187
非标定制	配离子交换树脂过滤器带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能可定制双通道液位平衡		带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能可定制设计满足semi2/semiF47认证可定制双通道液位平衡		带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能可定制设计满足semi2/semiF47认证可定制双通道液位平衡

三通道系列（所有型号均支持双通道、三通道、四通道，各通道功率不同）

型号	FLTZ-T-B203B205A1W			FLTZ-T-B440A2A2W			FLTZ-T-B210A1C1W
通道系数	CH1	CH2	CH3	CH1	CH2	CH3	CH1	CH2	CH3
介质温度范围	-10~＋60℃	30~＋80℃	-10~＋80℃	-40℃~+50℃	30℃~+120℃	30℃~+50℃	-25℃~+90℃	30℃~+90℃	25℃~+160℃
控制系统	PLC控制器			PLC控制器			PLC控制器
控制模式	本体出液口温控控制模式
	负载温度控制模式（通信）
出口温度控制精度	±0.1℃
冷却能力	4kW@-10℃	6kW@冷却水温度+10℃	3kW@-10℃	20kW@-30℃	20kW@50℃	25kW@35℃	10kW@-10℃	10kW@30℃	4kW@100℃
	16kW@20℃		10kW@20℃
加热能力	5.5kW	5.5kW	4kW	5.5kW	15kW	5.5kW	2kW	7.5kW	7.5kW
介质类型、电阻率	氟化液			氟化液			氟化液
介质流量压力	17LPM@7bar	17LPM@7bar	17LPM@7bar	30LPM@11.5bar	30LPM@11.5bar	23LPM@10bar	30LPM@6.5bar	30LPM@6.5bar	30LPM@6.5bar
介质接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷却水	20℃@2.7m³/h@2~4bar	20℃@2.5m³/h@2~4bar	20℃@1.6m³/h@2~4bar	20℃@20m³/h@2~4bar	20℃@7m³/h@2~4bar		20℃@5m³/h@2~4bar
冷却水接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1 1/4	Rc1 1/4	Rc1 1/4	Rc1	Rc1	Rc1
通道温度控制	PID控制调节，每路温度独立控制
每组流量控制	15~20LPM变频调节功能
流量显示精度	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM
水箱容积	40L	40L	40L	25L	25L	25L	25L	25L	25L
操作面板	7寸彩色触摸屏			10寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置	LOTO
漏液检测装置	设备内外部LEAK SENSON
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	220 VAC ± 10%，三相(可定制)			380 VAC ± 10%，三相(可定制)			380 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率	31kW（113A)			65kW（136A)			34kW（135A)
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035			冷轧板喷塑RAL7035			冷轧板喷塑RAL7035
外形尺寸cm	70100185			115150210			105135195
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足semi2/semiF47认证

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